凈化工作臺及過濾器在芯片廠中的應(yīng)用
 

　　我們都知道粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響一些配件產(chǎn)品的成品率。當今，半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對空氣過濾器的要求也苛刻，生產(chǎn)操作基本都是在潔凈工作室中凈化工作臺中操作。
 

　　衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”，即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計算線寬的年代，人們說制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm，此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過時了。
 

　　芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是“大循環(huán)”，車間的整個天花板上布滿過濾器，整個地面為回風柵板。現(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風機的過濾裝置， 即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
 

　　不論是普通過濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。目前沒有掃描測試方法標準，能擠進芯片廠的過濾器是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為，過濾器傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
 

　　空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大， 普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點應(yīng)該遠離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過濾器上多花點錢就是了。20世紀90年代初，曾對過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣，隨后，過濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。近幾年，出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維過濾材料，這種材料沒有揮發(fā)物，但它是帶靜電的“駐體”，少了個隱患，多了個麻煩，過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離 子。目前這種材料的偏高，大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。凈化工作臺的過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來源于粘結(jié)劑和清洗劑，為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。